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Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erl�utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien f�r Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verkn�pfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m�glichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl�chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bez�glich ihrer Kompatibilit�t zur Mikroelektronik bewertet.Typham this is the title: Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen